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    線性霍爾離子源 eH Linear
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    線性霍爾離子源 eH Linear

    KRI 線性霍爾離子源 eH Linear
    上海伯東代理美國原裝進口 KRI  線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應用于寬范圍的襯底, 離子源長度高達 1 米, 通過嚴格調整模組間的距離可以實現最佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡化了氣體, 功率和電子三者的分布. KRI 線性離子源使用標準的端部霍爾模組并使設備的需求簡化, 一個低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉濺射系統.

    霍爾離子源 eH 400 尺寸
    尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
    放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
    操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

    KRI 霍爾離子源 eH Linear 技術參數

    型號

    eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

    供電

    DC magnetic confinement

      - 電壓

    40-200V VDC

      - 陽極結構

    模塊化

    電源控制

    eHL-30010A

    配置

    -

      - 陰極中和器

    Filamentless

      - 離子束發散角度

    > 45° (hwhm)

      - 陽極

    標準或 Grooved

      - 底座

    移動或快接法蘭

      - 高度

    10 cm

    寬度

    10 cm

      - 長度

    ~ 100cm

      -工藝氣體

    Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

     

    Model

    eHL 200-3

    eHL 200-5

    Height (nominal)

    2.9” (7.4cm)

    2.9” (7.4cm)

    Width (nominal)

    3.3” (8.4cm)

    3.3” (8.4cm)

    Length (nominal)

    Determined by number of modules & application

    Determined by number of modules & application

    Cathode/Neutralizer

    Yes

    Yes

    Anode module

    Yes

    Yes

    Filamentless

    Yes

    Yes

    Orientation

    Vertical / Horizontal

    Vertical / Horizontal

    Process gases

    Inert, reactive, & organic

    Inert, reactive, & organic

    Power controller

    eH Plasma Power Pack

    eH Plasma Power Pack

     

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