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    HVA 3位真空閘閥 真空插板閥 21700 系列
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    HVA 3位真空閘閥 真空插板閥 21700 系列

    HVA 3位真空閘閥 21700 系列
    上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 3位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的完全關閉和完全開啟, 另一個電磁閥用于控制和調節閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業.

    HVA 3位真空閘閥 21700 系列產品特點
    1. 機械預設, 遙控過渡閥位
    2. 三個位置都有指示器
    3. 標準或者定制法蘭
    4. 至少一百萬使用周期
    5. 任意位置安裝
    HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術參數:

    閥門材質:

    閥門主體

    304不銹鋼

    焊接波紋管軸封

    AM-350

    驅動軸和驅動銷

    硬質不繡鋼

    閥門密封方式:

    高真空

    氟橡膠

    漏率

    <2×10-9 mbar l/s

    差壓關閉

    1 bar

    真空:

    壓力范圍

    高真空1x10-9 mbar

    漏率

    < 2x10-9  mbar l/S

    差壓關閉

    1 bar (任意位置)

    開啟前最大壓力

    ≤ 30 mbar

    烘烤溫度(不含電磁閥):

    閥門主體

    150 °c

    驅動方式

    氣動 60 °c

    使用壽命:100,000啟閉次數

    公稱通徑:DN100-320 mm


    美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門,超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥,高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區唯一指定總代理商。
    上海伯東版權所有,翻拷必究!

     

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