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    殘余氣體分析儀應用于角分辨光電子能譜儀 XPS
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    殘余氣體分析儀應用于角分辨光電子能譜儀 XPS

    上海伯東德國 Pfeiffer 殘氣質譜儀 RGA 應用于角分辨光電子能譜儀 XPS
    光電子能譜儀(photoelectron spectrograph)利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系,由此來判斷樣品表面各種元素含量,并可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
    角分辨 XPS 應用于各種固體材料表面(界面)的元素及化學態的定性、半定量、結構分析及化學

    鍵研究。
    使用上海伯東德國Pfeiffer殘氣分析質譜 QMG,對XPS系統的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析,并針對殘余氣體進行除氣措施,從而達到清潔樣品表面,減少空氣分子與標的電子的碰撞,最終得到金屬材料表面的元素及結構分析信息。
    上海伯東客戶案例:上海某大學
    角分辨光電子能譜儀+Pfeiffer殘余氣體分析質譜應用試驗條件:
    金屬樣品厚度:2nm
    主真空室:1×10-10 Torr
    分辨率:0.8cV
    電子槍束斑:75nm
    靈敏度:80KCPS
    信噪比:大于70:1
    角分辨:5°~90°
    靈敏度:255 KCPS A1/Mg雙陽極靶
    能量分辨率:0.3% 位置靈敏檢測器(PSD)  
    角分辨光電子能譜儀配套上海伯東德國 Pfeiffer QMG 質譜分析儀配置:
    1.測量范圍:1-300amu
    2.檢測方式:Faraday/C-SEM
    3.加熱溫度:1-200℃
    4.離子源:開放式離子源
    Pfeiffer 質譜分析儀
    Pfeiffer 殘余氣體質譜分析儀與友廠同級別質譜分析儀相比,更適用于移動應用,并且提供高解析度和靈敏度,可對氣體進行定性和定量分析,應用范圍廣泛,從大氣壓力到高真空均可使用。
    Pfeiffer 質譜分析儀

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