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    鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220
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    鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

    鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
    上海伯東德國普發 Pfeiffer 真空鍍膜工藝監測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了完美的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發的鍍膜工藝監測器離子源, 在高達 10-2 hPa 的壓力下, 實現了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時提供一個帶有壓差孔板法蘭的型號供選擇, 可以實現在高達 10 hPa 的壓力范圍里進行直接的工藝氣體分析.

    鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優勢
    用于瞬時過程監測的鍍膜工藝監測器離子源
    用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優秀檢測限
    對測量結果的最小化背景影響
    提供壓力高達 10 hPa 的壓差型號
    多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
    靈活集成的緊湊尺寸
    通過各種數字和模擬輸入和輸出, 使系統集成方便而靈活

    鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應用
    半導體生產,玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發電,研發

    鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 組成:渦輪分子泵+四級桿質譜+離子源
    Pfeiffer 普發鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

    鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 優勢:
    鍍膜工藝監測器離子源,適用于瞬時過程監測
    對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優秀檢測極限
    對測量結果的最小化背景影響
    壓力高達 10 hPa 的壓差版本
    多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
    緊湊設計,易于系統集成
    通過各種數字和模擬輸入和輸出
    Pfeiffer監測質譜 SPM 220 技術參數:

    SPM 系統控制

    BRU 220

    電壓

    115-230 V

    前級泵

    MVP 020-3

    四極控制

    QME 220

    帶 SPM 離子源的分析儀

    QMA 220

    探測器

    C-SEM/Faraday

    桿系統:材料

    不銹鋼

    桿系統:直徑

    6 mm 

    桿系統:長度

    100 mm 

    檢測極限(氬中):二氧化碳

    < 100 ppb

    檢測極限(氬中):氧氣

    < 100 ppb

    檢測極限(氬中):氮

    < 100 ppb

    檢測極限(氬中):水

    < 3000 ppb

    檢測極限(氬中):水蒸氣

    < 500 ppb or < 6000 ppb

    渦輪分子泵

    帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80

    質量數

     

    1-100 amu or 1-200 amu

    過程壓力至

    1 hPa or 10 hPa or 8hPa

    連接法蘭(入口)

    DN 40 CF-F

    重量

    13 kg 

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論,請參考以下聯絡方式:
    上海伯東:葉女士                         臺灣伯東:王女士
    T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
    M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
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    qq: 2821409400

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