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    Thermonics 超低溫冰水機
    閱讀數: 4792

    Thermonics 超低溫冰水機

    Thermonics 超低溫冰水機
    上海伯東美國 inTEST 旗下 Thermonics® 超低溫冰水機, 可以匹配各種熱交換液體媒介, 提供低溫極限 -80°C, -60°C, -40°C 共計 18種標準機型, 低溫冰水機單級壓縮機, 級聯冷卻, 冷凝器水冷或風冷; 可編程的觸摸屏, 支持遠程通訊. 低溫冰水機方便移動操作, 滿足高容量的制冷需求, 適用于汽車, 能源, 工業化學, 半導體等行業.

    Thermonics 超低溫冰水機: 精密溫度控制, 適用于半導體前端和后端的應用, 例如半導體刻蝕設備降溫
    . 最高冷卻功率 15 kW
    . 溫度范圍:  -80 至 200 °C
    . 適合各種熱交換流體
    . 風冷和水冷模式
    . 導熱流體壓力和流量控制
    . ISO 9001 和 ITAR 認證
    . 可編程的觸摸屏
    低溫工藝流體冰水機
    Thermonics 超低溫冰水機, 風冷型

    型號

    溫度范圍
    °C

    精度
    °C

    冷卻能力 kW @ 20°C 供水

    泵抽速
    l/min

    資料下載

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    -60

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    -80

    A-40-1100

    -40 至 +50

    ±0.5

    6.6

    6.6

    4.0

    1.1

    0.5

    -

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    15

    下載 PDF

    A-40-1900

    -40 至 +50

    ±0.5

    9.5

    9.5

    5.4

    1.9

    0.7

    -

    -

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    23

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    A-40-2700

    -40 至 +50

    ±0.5

    14.5

    14.5

    9.6

    2.7

    1.2

    -

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    38

    下載 PDF

    A-60-2700

    -60 至 +50

    ±0.5

    3.9

    3.9

    3.6

    3.1

    3.0

    2.7

    -

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    11

    下載 PDF

    A-60-3000

    -60 至 +50

    ±0.5

    4.6

    4.6

    3.7

    3.5

    3.4

    3.0

    -

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    23

    下載 PDF

    A-60-4600

    -60 至 +50

    ±0.5

    6.7

    6.7

    6.1

    5.3

    5.1

    4.6

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    下載 PDF

    A-80-500

    -80 至 +50

    ±0.5

    2.3

    2.3

    2.2

    2.1

    2.0

    1.8

    1.5

    0.5

    11

    下載 PDF

    A-80-1700

    -80 至 +50

    ±0.5

    3.4

    3.5

    3.1

    2.8

    2.7

    2.3

    2.1

    1.7

    23

    下載 PDF

    A-80-2400

    -80 至 +50

    ±0.5

    5.0

    5.1

    4.5

    3.9

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    3.3

    3.1

    2.4

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    下載PDF


    Thermonics 超低溫冰水機, 水冷型

    型號

    溫度范圍
    °C

    精度
    °C

    冷卻能力 kW @ 20°C 供水

    泵抽速
    l/min

    資料下載

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    W-40-1100

    -40 至 +50

    ±0.5

    8.0

    8.0

    4.6

    1.1

    0.6

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    W-40-2000

    -40 至 +50

    ±0.5

    10.0

    10.0

    6.0

    2.0

    1.0

    -

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    23

    下載 PDF

    W-40-3100

    -40 至 +50

    ±0.5

    15.5

    15.5

    10.0

    3.1

    1.4

    -

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    38

    下載 PDF

    W-60-2800

    -60 至 +50

    ±0.5

    4.0

    4.0

    3.7

    3.2

    3.1

    2.8

    -

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    下載 PDF

    W-60-3100

    -60 至 +50

    ±0.5

    4.7

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    1.1

    -

    23

    下載 PDF

    W-60-4700

    -60 至 +50

    ±0.5

    6.8

    6.8

    6.2

    5.4

    5.2

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    4.0

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    下載 PDF

    W-80-600

    -80 至 +50

    ±0.5

    2.5

    2.5

    2.3

    2.1

    2.0

    1.8

    1.6

    0.6

    11

    下載 PDF

    W-80-1800

    -80 至 +50

    ±0.5

    3.5

    3.5

    3.2

    2.9

    2.8

    2.4

    2.2

    1.8

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    下載 PDF

    W-80-2500

    -80 至 +50

    ±0.5

    5.1

    5.1

    4.5

    4.0

    3.9

    3.4

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    2.5

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    * 所有水冷和風冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
    * -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導液
    * 如果需要使用其他類型熱傳導液或流速, 請聯絡上海伯東

    Thermonics 超低溫冰水機典型應用
    1. 半導體行業: 在離子注入機中冷卻硅片夾
    2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
    3. 科研領域: 在一個壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊

    Thermonics® 制冷機主要應用于能源, 化學工藝, 工業和半導體制造, 例如如下:

    制冷機類型

    冷卻方式

    Max.Capacity

    溫度范圍

    導熱介質

    應用市場

    傳導液制冷
    雙極

    水冷

    5kW @ -20°C

    -40 至 25°C    

    Syltherm XLT

    化學

    傳導液制冷
    單極

    水冷

    2.5kW @ -60°C

    -60 至 25°C

    Syltherm XLT

    化學

    傳導液制冷
    單極

    風冷

    270W @ -50°C

    -50 至 120°C

    HFE-7500   

    半導體

    傳導液制冷
    雙極

    風冷

    300W @ -80°C

    -80 至 200°C

    Syltherm XLT

    國防

    傳導液制冷
    雙極

    風冷

    3KW @ -60°C

    -60 至 20°C

    KRYO 60 

    能源

    氣體制冷
    自然復疊

    風冷

    -100 °C @ 8 scfm

    -100 °C至空氣

    清潔,干燥空氣

    工業

    傳導液制冷
    雙極

    水冷

    2.2KW @ 20°C

    -50 至 40 °C

    HFE-7500

    半導體

    傳導液制冷
    單極

    水冷

    12KW @ 15°C

    -15 至 20 °C

    PGW (25%)

    半導體

    氣體制冷
    自然復疊

    風冷

    -90°C @ 18scfm

    -90 至 225 °C

    清潔,干燥空氣

    汽車

    傳導液制冷
    單極

    風冷

    1.5 KW @ -30 °C

    -40 至 50 °C

    Syltherm XLT

    工業

    傳導液制冷
    雙極

    水冷

    3.3KW @ -50°C

    -50 至 20 °C

    Syltherm HF

    汽車


    Thermonics 低溫冰水機原理:
    冰水機 chiller
     

    Thermonics 超低溫冰水機在半導體行業中的應用
    前端 Front End
    離子注入 Ion Implant
    蝕刻設備 Etch: 降溫晶圓,
    沉積設備 Deposition
    后端 Back End
    各種測試處理 Final Test Handlers:
    舉例: Thermonics 冰水機將制冷液體泵入測試設備進行半導體器件的冷態測試, Thermonics 冰水機可與各類半導體測試設備聯用.

    美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機超低溫液氮, 液態二氧化碳制冷機. Thermonics 低溫冰水機可選水冷或氣冷, 并與各種導熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝冷卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理. 

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