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    高壓質譜分析儀 HPA 220
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    高壓質譜分析儀 HPA 220

    Pfeiffer 高壓質譜分析儀 HPA 220
    上海伯東銷售維修德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220,可協助客戶選型并提供售后服務。質譜分析儀新款上市,適合于所有的應用特別是高壓應用。

    德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 組成:
    l 四級質譜分析儀
    l 手動或自動控制進樣閥門
    l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
    l 前級泵 MVP 020-3
    l 標準真空腔體
    l 全量程真空計 PKR 251
    l 閥門控制單元 VCU 220
    l 分子泵顯示器
    l 軟體:Quadera + HPA Add-In
    l 連接法蘭 DN 40 CF-F
    l 電源:115 – 230 V AC, 50/60 Hz

    可選的附加組件:
    1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規



     




    德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 優點:
    l 此款質譜分析儀操作組裝靈活,適用各種壓力范圍
    l 簡單的系統集成 模組式組裝
    l 高靈敏度 多路傳輸操作
    l 操作直觀 提供廣泛的應用

    德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 應用行業:
    在一個壓力范圍內(1 x 10-7到50 hPa)進行過程分析、監控
    1.真空鍍膜行業 2.半導體行業 3.光刻行業 4.冶金行業 5.真空爐 6.實驗研究

    質譜分析儀 技術參數:

    質量數(可選)

    1-100 amu

    1-200 amu

    1-300 amu

    質譜分析儀

    QMA 220

    前級泵

    MVP 020-3

    電源線長度(可選)

    3m

    10m

    檢測

    C-SEM/Faraday

    C-SEM 最小檢測極限

    1X10-14 hPa

    Faraday 最小檢測極限

    5X10-12 hPa

    壓縮空氣

    5-7 bar

    進氣法蘭

    DN 40 CF-F

    工作壓力(可選)

    1 hPa

    8hpa

    50hpa

    四級桿直徑/長度

    6 mm/ 100 mm

    C-SEM 精度

    200 A/hPa

    Faraday 精度

    5X10-4 A/hPa

    電源

    115-230 V

    重量

    15 kg


    質譜分析儀 尺寸圖:



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